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超薄SiO2栅介质厚度提取与分析
  • 期刊名称：半导体学报；Vol.25,n10，P.1306-1309(2004)(EI)
  • 时间：0
  • 相关项目：用于SOC的高速低功耗器件研究
作者： 谭静荣，许晓燕，黄如*，程行之
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