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基于SOI的集成硅微传感器芯片的
  • 期刊名称：半导体学报, 28(2): 74-79, 2007. (EI: 071510544682)
  • 时间：0
  • 相关项目：基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
作者： 徐敬波*，赵玉龙，蒋庄德，张大
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基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
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