位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
一种压阻式三轴加速度传感器的设
  • 期刊名称：传感技术学报, 19(5): 2171~2173, 2006
  • 时间：0
  • 相关项目：基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
作者： 孙剑*, 赵玉龙, 苑国英, 蒋庄德,
同期刊论文项目
基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
期刊论文 18 会议论文 8 获奖 8
同项目期刊论文
负载刚度对电热微执行器输出的影
特种压阻式加速度传感器研制
一种集成三轴加速度、压力、温度
微机械轮式陀螺仪的结构分析
柔性机构尺寸与形状优化新方法及
MEMS微型柔性力－位移传动机构设
集成传感器芯片的封装应力分析
一种集成式多参数硅微传感器
基于SOI技术梁膜结合高过载压阻
基于SOI的集成硅微传感器芯片的
High temperature and frequency
新型非硅薄膜网格压力传感器的研究
一种硅微多传感器集成研究
MEMS耐高温压力传感器封装工艺研究
基于SOI的集成硅微传感器芯片的制作
MEMS微型柔性力—位移传动机构设计
磁致伸缩液位传感器的电路设计及性能分析