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MEMS微型柔性力－位移传动机构设
  • 期刊名称：中国机械工程, 17(10): 991-994, 2006. (EI: 06269966643)
  • 时间：0
  • 相关项目：基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
作者： 高建忠*, 蒋庄德, 赵玉龙
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