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柔性机构尺寸与形状优化新方法及
  • 期刊名称：微纳电子技术, 2007, 44(7/8): 34-36
  • 时间：0
  • 相关项目：基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
作者： 刘旭*, 高建忠, 赵玉龙, 蒋庄德
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