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中文摘要：
为了提高微机电系统中微执行器的作用距离，设计了一种全硅结构的微型柔性力位移传动机构，用于放大微执行器的输出位移。建立了传动机构的简化力学模型和有限元模型，并对机构性能的影响因素进行了分析。用深层反应离子刻蚀工艺在硅隔离衬底上成功制备了电热微执行器-微型柔性传动机构样机，并进行测试。结果表明，柔性力-位移传动机构能够有效地放大微执行器的输出位移，实测放大倍数达到18．9，可以极大地扩展微机电系统微执行器的应用范围。
英文摘要：
In order to amplify the small output displacement of MEMS based microactuators, a full silicon compliant microtransmission was designed. The simplified analytical model and finite element model were built and the factors influencing the performance were analyzed. In the end, prototypes which were combined with thermal microactuators and microtransmissions were fabricated with deep reactive ion etching （DRIE） technology on silicon on insulator （SOI） substrate and were tested.
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