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微机械轮式陀螺仪的结构分析
  • 期刊名称：微纳电子技术, 44(7/8): 150-152,2007.
  • 时间：0
  • 相关项目：基于SOI技术多传感器芯片集成技术研究
作者： 郭宏宾*, 赵玉龙, 蒋庄德
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