提出了全MOCVD(金属有机物化学气相外延)法制造ZnO基(及其多元氧化物)透明薄膜晶体管(Transparent Thin Film Transistors, TTFT),研究其材料生长、器件结构及制造工艺。全MOCVD制造ZnO-TTFT工艺简单、均匀性好、器件制造过程沾污小、器件可靠。采用ZnO-TTFT可提高LCD、OLED显示屏开口率,提高显示品质,并且ZnO-TTFT对可见光无反应,不需要遮光层,简化工艺;ZnO-TTFT结合ZnO透明电极技术还可以制造透明集成电路,将在伪三维立体显示屏、汽车智能显示、航空头盔显示等平面显示、光学信息处理、宇航、军事领域有广泛应用前景。