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ZnO基透明薄膜晶体管的研制
  • 项目名称:ZnO基透明薄膜晶体管的研制
  • 项目类别:面上项目
  • 批准号:60576054
  • 申请代码:F040407
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:2006-01-01-2008-12-31
  • 项目负责人:杜国同
  • 负责人职称:教授
  • 依托单位:大连理工大学
  • 批准年度:2005
中文摘要:

提出了全MOCVD(金属有机物化学气相外延)法制造ZnO基(及其多元氧化物)透明薄膜晶体管(Transparent Thin Film Transistors, TTFT),研究其材料生长、器件结构及制造工艺。全MOCVD制造ZnO-TTFT工艺简单、均匀性好、器件制造过程沾污小、器件可靠。采用ZnO-TTFT可提高LCD、OLED显示屏开口率,提高显示品质,并且ZnO-TTFT对可见光无反应,不需要遮光层,简化工艺;ZnO-TTFT结合ZnO透明电极技术还可以制造透明集成电路,将在伪三维立体显示屏、汽车智能显示、航空头盔显示等平面显示、光学信息处理、宇航、军事领域有广泛应用前景。


成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 44
  • 1
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
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