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Investigation of Thermal Stability of Atomic-Layer-Deposited MgO Thin Films on Si(100) Using X-Ray P
  • ISSN号:1099-0062
  • 期刊名称:Electrochemical and Solid State Letters
  • 时间:0
  • 页码:G25-G28
  • 语言:英文
  • 相关项目:原子层淀积高介电常数栅介质的界面层抑制和性能调控
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