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Investigation of phase transition behaviors of the nitrogen-doped Sb-rich Si-Sb-Te films for phase-c
  • ISSN号:0040-6090
  • 期刊名称:THIN SOLID FILMS
  • 时间:2011.11.11
  • 页码:1155-1159
  • 相关项目:Si基新型相变材料(Si-Sb-Te)及其器件基础研究
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