位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积Al2O3介质薄膜研究
  • ISSN号：1000-324X
  • 期刊名称：无机材料学报
  • 时间：2012.9.15
  • 页码：956-960
  • 相关项目：Ⅲ-Ⅴ族半导体衬底上铪基高k栅介质界面特性研究
作者： 贾婷婷|俞跃辉|ZHANG You-Wei1,2,WAN Li1,CHENG Xin-Hong2,WANG Zhon|2.State Key Laboratory of Functional Materials for|
同期刊论文项目
Ⅲ-Ⅴ族半导体衬底上铪基高k栅介质界面特性研究
期刊论文 21 会议论文 2
同项目期刊论文
Properties of LaAlO3 thin film on GaAs(100) treated by in situ NH3 plasma
Total-Dose Radiation Response of HfLaO Films Prepared by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
Properties of HfAlO film deposited by plasma enhanced atomic layer deposition
Competitive Si and La effect in HfO2 phase stabilization in multi-layer (La2O3)0.08(HfO2) films
Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment
Al2O3–Gd2O3 double-films grown on graphene directly by H2O-assisted atomic layer deposition
Property transformation of graphene with Al2O3 films deposited directly by atomic layer deposition
HfO2 dielectric film growth directly on graphene by H2O-based atomic layer deposition
Improvement of Al2O3 Films on Graphene Grown by Atomic Layer Deposition with Pre-H2O Treatment
Properties of HfLaO MOS capacitor deposited on SOI with plasma enhanced atomic layer deposition
采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积Al_2O_3介质薄膜研究
SiGe上NbAlO栅介质薄膜微结构和电学性能分析
Al_2O_3对应变SiGe上HfO_2薄膜的热稳定性和电学可靠性的影响(英文)
Effects of rapid thermal annealing on properties of HfAlO films directly deposited by ALD on graphen
Studies on H2O-based Atomic Layer Deposition of Al2O3 Dielectric on Pristine Graphene
A 680 V LDMOS on a thin SOI with an improved field oxide structure and dual field plate
p—GaN栅结构GaN HEMT的场板结构研究
PEALDHfO2栅介质薄膜的界面优化及其特性表征
期刊信息
  • 《无机材料学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院上海硅酸盐所
  • 主编：郭景坤
  • 地址：上海市定西路1295号
  • 邮编：200050
  • 邮箱：wjclxb@mail.sic.ac.cn
  • 电话：021-52411302
  • 国际标准刊号：ISSN：1000-324X
  • 国内统一刊号：ISSN：31-1363/TQ
  • 邮发代号:4-504
  • 获奖情况:
  • 获"中国百种杰出学术期刊"称号
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,美国科学引文索引（扩展库）,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,瑞典开放获取期刊指南,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:21274