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Low temperature post deposition annealing investigation for 3D charge trap flash memory by kelvin pr
  • 期刊名称:Applied Physics A
  • 时间:2015.10.11
  • 页码:1-6
  • 相关项目:面向三维集成的纳米尺度电荷陷阱存储器机理与可靠性研究
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