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Interfacial compound suppression and dielectric properties enhancement of F-N-codoped ZrO2 thin film
  • 期刊名称:Appl. Phys. Lett.
  • 时间:2007
  • 页码:082-906
  • 相关项目:HfMxOy/金属栅界面控制及有效功函数调制机理
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