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Improved Interfacial Properties of Ge MOS Capacitor with High-k Dielectric by using TaON/GeON Dual I
  • ISSN号:0741-3106
  • 期刊名称:IEEE Electron Device Letters
  • 时间:0
  • 页码:122-124
  • 语言:英文
  • 相关项目:小尺寸超薄HfTiO/GeON叠层高k栅介质Ge基MOSFET研究
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