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Improved Interfacial Properties of Ge MOS Capacitor with High-k Dielectric by using TaON/GeON Dual I
ISSN号:0741-3106
期刊名称:IEEE Electron Device Letters
时间:0
页码:122-124
语言:英文
相关项目:小尺寸超薄HfTiO/GeON叠层高k栅介质Ge基MOSFET研究
作者:
F. Ji, J. P. Xu, P. T. Lai, C. X. Li, J. G. Liu|
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