HfTiO高k栅介质Ge MOS电容特性研究
- ISSN号:1000-3819
- 期刊名称:固体电子学研究与进展
- 时间:0
- 页码:198-202
- 语言:中文
- 相关项目:小尺寸超薄HfTiO/GeON叠层高k栅介质Ge基MOSFET研究
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期刊信息
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- 国际标准刊号:ISSN:1000-3819
- 国内统一刊号:ISSN:32-1110/TN
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