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Impacts of Ti on electrical properties of Ge metal-oxide-semiconductor capacitors with ultrathin hig
  • 期刊名称:Appl. Phys. A
  • 时间:0
  • 页码:903-906
  • 语言:英文
  • 相关项目:小尺寸超薄HfTiO/GeON叠层高k栅介质Ge基MOSFET研究
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