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基于光学和扫描显微平台的微尺度实验力学检测技术和装置研究
  • ISSN号:1001-4888
  • 期刊名称:《实验力学》
  • 时间:0
  • 分类:TN247[电子电信—物理电子学] O438[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构:[1]清华大学工程力学系FML,北京100084
  • 相关基金:国家自然科学基金项目No.10372049、No.10572071、No.10232030;国家重点基础研究发展计划2004CB619304及清华大学强度开放基金等的资助
中文摘要:

本文基于光学和扫描显微平台,介绍了本研究组在微尺度实验力学检测技术和设备方面的最新研究成果。在检测技术方面涉及显微散斑干涉技术、微标记阵列检测技术、晶粒变形分析技术、光学探针动静态变形分析技术;在检测系统和装置方面介绍了新近开发的双视场薄膜检测系统、散斑微干涉系统、微标记检测平台、AFM和SEM单轴拉伸装置、三维微定位与加载系统、微力传感器及其标定装置、微动平台驱动装置等。探讨了微尺度实验力学检测中的问题和新的检测技术,给出了一些典型的应用和相关装置。

英文摘要:

The paper presents an overview of the new micro-scale experimental mechanics concepts, methods and devices of optical and scanning microscopic stages developed at photomechanical laboratory of Tsinghua University. The research includes micro speckle interferometry, micro marker method, optical probe method, grain deformation and movement analysis. In particular, it also describes several devices and measurement systems developed in our group, which are double-field-ofview speckle interferometer for thin film tensile test, microscopic speckle interferometry which enables an alternative usage of conventional specular interferometry (CSI), ESPI, TSIP and phase shifting for micro-object shape, in-plane and out-of-plane displacement measurements, micro marker measuring stage for local zone deformation measurement, uniaxial tensile setups using in AFM and SEM measuring stages for micro-objects and thin films testing and other instruments for micro-objects testing, such as positioning and loading system, micro force sensor and programmable driving systems of translation platform and displacement sensor. To prove the applicability of these methods and devices, some applications of measurement examples are given and the problems and further research on micro-scale experimental mechanics are discussed.

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期刊信息
  • 《实验力学》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科协
  • 主办单位:中国力学学会 中国科学技术大学
  • 主编:于起峰
  • 地址:安徽省合肥市金寨路96号中国科技大学
  • 邮编:230026
  • 邮箱:sylx@ustc.edu.cn
  • 电话:0551-3601246
  • 国际标准刊号:ISSN:1001-4888
  • 国内统一刊号:ISSN:34-1057/O3
  • 邮发代号:26-57
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:6587