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p型金属氧化物半导体场效应晶体管界面态的积累对单粒子电荷共享收集的影响
  • ISSN号:1000-3290
  • 期刊名称:Acta Physica Sinica
  • 时间:2011.8.8
  • 页码:515-523
  • 分类:TN386.1[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]国防科学技术大学计算机学院,长沙410073
  • 相关基金:国家自然科学基金重点项目(批准号:60836004)和国家自然科学基金(批准号:61006070)资助的课题
  • 相关项目:纳米级集成电路SET软错误率分析技术研究
中文摘要:

由于负偏置温度不稳定性和热载流子注入,p型金属氧化物半导体场效应晶体管(pMOSFET)将在工作中不断退化,而其SiO2/Si界面处界面态的积累是导致其退化的主要原因之一.采用三维器件数值模拟方法,基于130nm体硅工艺,研究了界面态的积累对相邻pMOSFET之间单粒子电荷共享收集的影响.研究发现,随着pMOSFETSiO2/Si界面处界面态的积累,相邻pMOSFET漏端的单粒子电荷共享收集量均减少.还研究了界面态的积累对相邻反相器中单粒子电荷共享收集所导致的多瞬态脉冲的影响.研究发现,随着pMOSFETSiO2/Si界面处界面态的积累,pMOSFET之间电荷共享收集所导致的多瞬态脉冲压缩,而n型金属氧化物半导体场效应晶体管之间电荷共享收集所导致的多瞬态脉冲展宽.

英文摘要:

Due to negative bias temperature instability and hot carrier injection,p-type metal-oxide-semiconductor field effect transistor (MOSFET) will degrade with time,and the accumulation of interface traps is one major reason for the degradation.In this paper,the influence of the accumulation of pMOSFET interface traps on single event charge sharing collection between two adjacent pMOSFET is studied based on three-dimensional numerical simulations on a 130 nm bulk silicon complementary metal-oxide-semiconductor process,the results show that with the accumulated interface traps increasing,the charge sharing collection reducs for both the two pMOSFETs.The influence of the accumulation of pMOSFET interface traps on single event charge sharing induced multiple transient pulses between two adjacent inverters is also studied,the results show that the multiple transient pulses induced by the two pMOSFET charge sharings will be compressed,while multiple transient pulses induced by the two nMOSFET charge sharing will be broadened.

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期刊信息
  • 《物理学报》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国物理学会 中国科学院物理研究所
  • 主编:欧阳钟灿
  • 地址:北京603信箱(中国科学院物理研究所)
  • 邮编:100190
  • 邮箱:apsoffice@iphy.ac.cn
  • 电话:010-82649026
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-3290
  • 国内统一刊号:ISSN:11-1958/O4
  • 邮发代号:2-425
  • 获奖情况:
  • 1999年首届国家期刊奖,2000年中科院优秀期刊特等奖,2001年科技期刊最高方阵队双高期刊居中国期刊第12位
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国科学引文索引(扩展库),英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:49876