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Type of distortionless through silicon via design based on the multiwalled carbon nanotube
  • ISSN号:1750-0443
  • 期刊名称:Micro & Nano Letters
  • 时间:2013.12
  • 页码:869-871
  • 相关项目:三维集成电路的TSV模型及热管理技术研究
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