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Atomically smooth and homogeneously N-polar AlN film grown on silicon by alumination of Si3N4
  • ISSN号:0003-6951
  • 期刊名称:Applied Physics Letters
  • 时间:2013.4.4
  • 页码:-
  • 相关项目:无浸润层的氮化铟镓量子点生长机理和物性研究
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