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硅片超精密磨床的发展现状
  • 期刊名称：电子工业专用设备，2004, (06): 54-59
  • 时间：0
  • 相关项目：先进电子制造中的重要科学技术问题研究
作者： 董志刚，田业冰，郭东明，康仁科
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