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碳含量对碳氮化硅薄膜化学结构和
  • 期刊名称：真空科学与技术学报
  • 时间：0
  • 相关项目：先进电子制造中的重要科学技术问题研究
作者： 朴勇, 徐军, 高鹏, 丁万昱, 陆文
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期刊论文 339 会议论文 107 著作 6
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