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化学机械抛光中抛光液流动的微极
  • 期刊名称：北京交通大学学报，2005, 29(1):74-77
  • 时间：0
  • 相关项目：先进电子制造中的重要科学技术问题研究
作者： 张朝辉，雒建斌
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