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大直径硅片超精密磨削技术的研究
  • 期刊名称：金刚石与磨料磨具工程，2003, 4:13-18
  • 时间：0
  • 相关项目：先进电子制造中的重要科学技术问题研究
作者： 康仁科，田业冰，郭东明，金洙吉
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