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铜化学机械抛光中的平坦化问题研
  • 期刊名称：半导体技术，2004, 29(7): 30-34
  • 时间：0
  • 相关项目：先进电子制造中的重要科学技术问题研究
作者： 李秀娟，金洙吉，苏建修，康仁科
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先进电子制造中的重要科学技术问题研究
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