以(NH4)2TiF6,Sr(NO3)2和H3BO3为主要原料,采用自组装单层膜技术,在玻璃基板上成功制备了钛酸锶晶态薄膜。利用接触角仪对OTS和紫外照射处理后的基片润湿角进行表征,利用X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等测试手段表征了薄膜的物相和微观结构。结果表明:紫外光对自组装单层膜具有很强的修饰作用,紫外照射后附着有OTS-SAM的基片有很强的亲水性。钛酸锶薄膜结晶良好,纯度很高,薄膜表面颗粒均匀分布,呈岛状生长,晶粒尺寸大约在100~500 nm之间。对钛酸锶薄膜的形成机理进行了探讨。