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Growth of 3C-SiC films on on-axis 6H-SiC substrates by LPCVD
  • ISSN号:1003-7713
  • 期刊名称:Chinese Journal of Chemical Physics
  • 时间:0
  • 页码:305-307
  • 语言:中文
  • 相关项目:氧化锌异质结构电致发光及缺陷和杂质的行为研究
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