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磁控溅射沉积薄膜实验参数优化光谱诊断
  • 期刊名称：郭庆林、崔永亮、陈剑辉、张金平、怀素芳、刘保亭、陈金忠，“磁控溅射沉积薄膜实验参数优化光谱诊断”，光
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硅基含铜铁电薄膜异质结集成研究
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