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(001)高度择优取向Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3/Pt异质结的结构及性能
  • ISSN号:1000-985X
  • 期刊名称:《人工晶体学报》
  • 时间:0
  • 分类:O484.4[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构:[1]河北大学物理科学与技术学院,保定071002, [2]河北大学电子信息工程学院,保定071002
  • 相关基金:国家自然科学基金(No.60876055 11074063)资助项目; 河北省自然科学基金(E2008000620)资助项目; 河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(10963525D); 高等学校博士点基金(No.20091301110002); 河北省教育厅科学研究计划(No.2007416); 河北省科学技术厅科学技术研究与发展指导计划(No.07215154); 河北大学博士基金(y2006091)资助项目
中文摘要:

采用射频磁控溅射法结合高真空后退火处理,在MgO(001)单晶基片上制备了Pt薄膜。应用脉冲激光沉积法在Pt/MgO上进一步生长了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜。借助X射线衍射仪(XRD)、铁电测试仪、LCR表研究了BST/Pt/MgO的结构和性能。研究发现,700℃真空退火可以保证Pt薄膜在MgO基片上实现(001)高度择优生长,以(001)Pt薄膜为模板,可以进一步获得(001)高度择优取向具有铁电性能BST薄膜。在100 Hz测试频率下,BST薄膜最大介电常数为1100、调谐率为81%、品质因数为21;在7 V的电压下,漏电流密度1.85×10-5A/cm2,进一步分析表明,BST薄膜在0-2.6 V之间满足欧姆导电机制,在2.6-7 V之间满足普尔-弗兰克导电机制。

英文摘要:

Pt film was prepared on MgO(001) single crystal substrate using radio-frequency magnetron sputtering,combined with high vacuum post annealing process.BST film was further fabricated on Pt/MgO by pulsed laser deposition method.The structure and physical properties of BST/Pt/MgO heterostrucutre were characterized by XRD,ferroelectric tester,and LCR meter.The results showed that Pt film is highly(001) oriented after 700 ℃ vacuum annealing,and(001) highly oriented BST film with ferroelectric property can be obtained using(001) Pt as template.The test frequency is 100 Hz,the maximum dielectric constant,tunability and dielectric loss of a BST capacitor are 1100,81%,0.074,respectively.The leakage current density of the BST capcitor is 1.85×10-5 A/cm2 at 7 V.Schottky conduction mechanism is found to dominate the current conduction at low voltages ranging from 0 to 2.6 V,and at the voltages,ranging from 2.6-7 V,BST capacitor meets Poole-Frenkel emission conduction.

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期刊信息
  • 《人工晶体学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国建材工业协会
  • 主办单位:中国硅酸盐学会 晶体生长与材料专业委员会 中材人工晶体研究院
  • 主编:余明清
  • 地址:北京市733信箱
  • 邮编:100018
  • 邮箱:
  • 电话:010-65492963 65492968 65493320
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-985X
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2637/O7
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1997年获国家科技优秀期刊,获部级优秀科技期刊奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
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