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用于铜互连阻挡层的磁控溅射法制备的Ti-Al薄膜研究
  • 期刊名称：邢金柱，刘保亭，霍骥川，周阳，李晓红，李丽，张湘义，彭英才，王侠，“用于铜互连阻挡层的磁控溅射法制备
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  • 相关项目：硅基含铜铁电薄膜异质结集成研究
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硅基含铜铁电薄膜异质结集成研究
期刊论文 69
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