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La0.5Sr0.5CoO3/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/La0.5Sr0.5CoO3铁电电容器的结构和性能研究
  • ISSN号:1000-985X
  • 期刊名称:《人工晶体学报》
  • 时间:0
  • 分类:TM223[电气工程—电工理论与新技术;一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构:[1]河北大学物理科学与技术学院,保定071002, [2]河北大学电子信息工程学院,保定071002
  • 相关基金:国家自然科学基金(No.60876055); 河北省自然科学基金项目(E2008000620 E2009000207); 教育部科学技术研究重点项目(No.207013); 河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(No.08965124D)
中文摘要:

采用磁控溅射法和脉冲激光沉积法,在SrTiO3(001)衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(70 nm)/La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)(LSCO/PZT/LSCO)铁电电容器异质结。X射线衍射结果表明:LSCO和PZT薄膜均为外延结构。在5 V的外加电压下,LSCO/PZT/LSCO电容器具有较低的矫顽电压(0.49 V),较高的剩余极化强度(41.7μC/cm^2)和较低的漏电流密度(1.97×10^-5A/cm^2),LSCO/PZT/LSCO电容器的最大介电常数为1073。漏电流的分析表明:当外加电压小于0.6 V时,电容器满足欧姆导电机制;当外加电压大于0.6 V时,符合空间电荷限制电流(SCLC)导电机制。

英文摘要:

La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(70 nm)/La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)(LSCO/PZT/LSCO) capacitor was fabricated on SrTiO3(001) substrate by RF magnetron sputtering and pulsed laser deposition(PLD) method.X-ray diffraction(XRD) shows that both LSCO and PZT thin films are epitaxial structures.It is found that the coercive voltage,remnant polarization,leakage current density and the maximum dielectric constant of LSCO/PZT/LSCO capacitor measured at the voltage of 5 V are 0.49 V,41.7 μC/cm^2,1.97×10^-5 A/cm^2,1073,respectively.Leakage current density of the LSCO/PZT/LSCO capacitor is further investigated,which meets ohmic behavior at lower voltage(〈0.6 V) and agrees well with the space-charge-limited current(SCLC) theory at higher voltage(〉0.6 V).

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期刊信息
  • 《人工晶体学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国建材工业协会
  • 主办单位:中国硅酸盐学会 晶体生长与材料专业委员会 中材人工晶体研究院
  • 主编:余明清
  • 地址:北京市733信箱
  • 邮编:100018
  • 邮箱:
  • 电话:010-65492963 65492968 65493320
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-985X
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2637/O7
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1997年获国家科技优秀期刊,获部级优秀科技期刊奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:9943