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单晶硅超精密磨削过程分子动力学
  • 期刊名称：机械工程学报，已录用
  • 时间：0
  • 相关项目：超精抛光中纳米行为和化学作用及平整化原理技术
作者： 郭晓光，郭东明，康仁科，金洙吉
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期刊论文 69 会议论文 8
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