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硅片纳米磨削过程中磨粒切削深度
  • 期刊名称：金刚石与磨料磨具工程，2006,5:69-73
  • 时间：0
  • 相关项目：超精抛光中纳米行为和化学作用及平整化原理技术
作者： 霍凤伟，金洙吉，赵福令等
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期刊论文 69 会议论文 8
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