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超大规模集成电路制造中硅片平坦
  • 期刊名称：机械工程学报，2003, 39(10): 100-105
  • 时间：0
  • 相关项目：超精抛光中纳米行为和化学作用及平整化原理技术
作者： 郭东明，康仁科，苏建修
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