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硅片自旋转磨削的运动几何学分析
  • 期刊名称：中国机械工程，2005，16(20):1798-1801
  • 时间：0
  • 相关项目：超精抛光中纳米行为和化学作用及平整化原理技术
作者： 田业冰，金洙吉，郭东明，康仁科
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