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铜化学机械抛光中电化学理论的应
  • 期刊名称：润滑与密封，2005, 167(3): 106-121
  • 时间：0
  • 相关项目：超精抛光中纳米行为和化学作用及平整化原理技术
作者： 李秀娟，金洙吉，苏建修，康仁科
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