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集成电路制造中的固着磨料化学机
  • 期刊名称：润滑与密封, 2005, 169(3): 1-5
  • 时间：0
  • 相关项目：超精抛光中纳米行为和化学作用及平整化原理技术
作者： 苏建修，郭东明，康仁科，金洙吉
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期刊论文 69 会议论文 8
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