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超大规模集成电路制造中硅片化学
  • 期刊名称：半导体技术，2003, 28(10): 27-32
  • 时间：0
  • 相关项目：超精抛光中纳米行为和化学作用及平整化原理技术
作者： 苏建修，康仁科，郭东明
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