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基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结
  • 期刊名称：中国机械工程，16(增刊): 467-468，(2005)
  • 时间：0
  • 相关项目：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
作者： 刘梦伟*，佟建华，崔天宏，董维
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适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
期刊论文 75 会议论文 11
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