位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
微热板式气压传感器结构设计与热
  • 期刊名称：光学精密工程，vol.12， no.6(2004) :598-602
  • 时间：0
  • 相关项目：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
作者： 张凤田*，唐祯安等
同期刊论文项目
适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
期刊论文 75 会议论文 11
同项目期刊论文
水热法制备压电双晶片的研究
Effect of thickness on microst
基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感
ZnO:Li压电薄膜制备及性能研究
硅微电容传声器的防粘连结构
防粘连硅微电容传声器
圆形振动膜硅微电容传声器
Investigation of a Microcalori
Theoretical analysis of the se
薄膜电子隧穿几率的数值计算方法
硅微ZnO压电薄膜传声器的研制
基于非线性PCA的微气体传感器阵
改进的溶胶凝胶法制备不同厚度的
硅基PZT薄膜型悬臂的特性及其在
基于虚拟仪器的铁电薄膜电滞回线
压电传感器材料的铁电特性研究
PZT薄膜的制备及其与MEMS工艺的
基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结
A micro-Pirani gauge based on
Numerical Analysis of Capaciti
微加热式微气压传感器测试电路的
硅微传声器的电声测试与灵敏度分
微桥量热计测量铝薄膜热容
活塞式硅微电容传声器设计
衬底对溶胶－凝胶法准备ZnO压电
基于硅基PZT微力传感器标定系统
基于MATLAB的微气压传感器测试系
微加热板式半导体微气压传感器的
热线式横风传感器的研究
Measurement on the actuating a
微气体传感器的稳定性测试研究
Properties analysis of Mn-dope
A Genetic Algorithm for Simult
气体传感器阵列信号的盲分离研究
微热板式低气压传感器的研制
基于硅微加工工艺的微热板的传热
In-Plane P-SV Waves from a Pie
圆形振动膜ZnO压电硅微传声器的
硅微传声器研究进展
基于PZT薄膜的硅微压电传声器的
基于聚酰亚胺振动膜的硅微电容式
用于薄膜热容测量的微型量热计
基于SOC的微气压传感器研究
Antiplane shear waves from a p
Preliminary study of calibrati
Evaluation of momentum conserv
Piezoelectric microcantilevers
恒温式微热板电阻真空传感器
PT种子层对微力传感器性能的影响
PT/PZT/PT薄膜微力传感器
圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制
PZT薄膜的制备及其与MEMS工艺的兼容性
A Genetic Algorithm for Simultaneous Determination of Thin Films Thermal Transport Properties and Contact Resistance
SnO2（110）表面电子结构的第一性原理
基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片
单片集成CMOS电阻真空传感器
嵌入式无线传感器网络研究
改进的溶胶-凝胶法制备不同厚度的PZT薄膜
基于虚拟仪器的铁电薄膜电滞回线测量系统设计
硅基PZT薄膜微型悬臂的特性及其在微型传感器执行器上的应用
基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真
对痕量甲醛气体敏感的SnO_2-NiO纳米材料的X射线光电子谱研究
铁电薄膜电滞回线测量的快速数值补偿方法研究
MEMS-based ZnO Piezoelectric Tactile Sensor for Minimally Invasive Surgery
基于MC35i的M2M终端设计与研究