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PZT薄膜的制备及其与MEMS工艺的
  • 期刊名称：半导体学报，Vol.27(10)，p1776-1780，2006，(EI)
  • 时间：0
  • 相关项目：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
作者： 李俊红*，汪承灏，黄歆，徐联
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期刊论文 75 会议论文 11
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