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硅微ZnO压电薄膜传声器的研制
  • 期刊名称：应用声学，Vol.22，No.5，p1-4，2003
  • 时间：0
  • 相关项目：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
作者： 杨楚威，黄歆，李俊红*，解述，
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适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
期刊论文 75 会议论文 11
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