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微热板式低气压传感器的研制
  • 期刊名称：半导体学报， vol.26， no.7，(2005): 1412-1417
  • 时间：0
  • 相关项目：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
作者： 张凤田*， 唐祯安， 余隽， 金
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适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
期刊论文 75 会议论文 11
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