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硅微传声器研究进展
  • 期刊名称：声学技术，Vol.25，增刊，p161-165，2006，(EI)
  • 时间：0
  • 相关项目：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
作者： 田静*，汪承灏，徐联，乔东海，
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适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
期刊论文 75 会议论文 11
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