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中文摘要：
本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备，并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述。圆形振动膜的压电传卢器与以前方形振动膜结构设计相比，较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率，灵敏度达到-70dB（相对于1V／Pa），成品率达到80％。
英文摘要：
This paper presents the fabrication of a silicon based ZnO piezoelectric micromicrophone with novel circular vibrating film. Micromachined techniques to fabricate the device are described in detail. The circular vibrating film structure of this microphone is a modification of the rectangular one, and the performances of the device are improved. The sensitivity is -70dB （ref. 1V/Pa） and the rate of finished product is 80%.
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