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压电传感器材料的铁电特性研究
  • 期刊名称：仪器仪表学报，27(6) 增刊：302-303，(2006)
  • 时间：0
  • 分类：TH7-55[机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构：大连理工大学电子与信息工程学院,大连,116023 大连理工大学电子与信息工程学院,大连,116023, 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室大连理工大学,大连,116023 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室大连理工大学,大连,116023 大连理工大学电子与信息工程学院,大连,116023, 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室大连理工大学,大连,116023
  • 相关基金：国家自然科学基金(90207003)资助项目
  • 相关项目：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
作者： 邵春玉*，王兢，刘梦伟， 董维杰
关键词： 压电材料, PZT, 铁电性, Mn
中文摘要：

本文采用溶胶-凝胶工艺制备了不同Mn离子掺杂浓度的PZT薄膜.研究了不同掺杂浓度对压电传感器薄膜铁电特性的影响.试验结果表明:当Mn离子含量较少时,Mn在PZT中主要表现施主掺杂特性,薄膜铁电性能提高;而当浓度增大时,薄膜性能降低.

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