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Sacrificial Al0.8Ga0.2As etching for microstructures in integrated optoelectronic devices
  • ISSN号:0021-8979
  • 期刊名称:Journal of Applied Physics
  • 时间:0
  • 页码:113508-1-4
  • 语言:英文
  • 相关项目:单芯片白光发光二极管机理及其关键技术的研究
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