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应用于微电子机械系统中多孔硅的
  • 期刊名称：功能材料35，1728~1730. 2004
  • 时间：0
  • 相关项目：面向SOC多孔硅绝热微集成热敏元件研究
作者： 崔梦 胡明 雷振坤 窦雁巍 田斌
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期刊论文 49 会议论文 5
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