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中文摘要：
微机电系统（MEMS）技术是以实现机电一体化为目标的一项新兴技术，它在红外器件制作中的引入为非制冷红外探测器的实用化开辟了新的途径。目前，应用MEMS技术制作的主要有微测辐射热计微桥结构和微悬臂红外探测器双层悬臂结构2种。对它们各自的工作原理、组成结构、MEMS工艺实现以及发展方向作了较为详细的阐述。
英文摘要：
Micro electro-mechanical system（MEMS） is a new rising technology which aim is to integrate the microelectrics and micromechanics. It provides a new path to the application of uncooled infrared detector. At present,there are two micro structure maded by MEMS technology： microbridge in the microbolometer FPA and bimaterial microcantilever of microcantilever detector. The principle, microfabrication process and trends are introduced respectively.
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