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常温直流对靶溅射制备高TCR氧化
  • 期刊名称：天津大学学报，39（7）：806-809 2006（EI收录）
  • 时间：0
  • 相关项目：面向SOC多孔硅绝热微集成热敏元件研究
作者： 吴 淼，胡 明，吕宇强，刘志刚
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